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PECVD管式爐爐體及爐膛結(jié)構(gòu)

更新時(shí)間:2018-07-24      點(diǎn)擊次數(shù):2456
PECVD管式爐爐體及爐膛結(jié)構(gòu)
PECVD管式爐設(shè)計(jì)和采用先進(jìn)的技術(shù)是爐體外觀新穎、結(jié)構(gòu)合理。外殼采用國標(biāo)鋼材,其外殼噴塑具有耐溫、耐久、耐氧化、耐酸、耐緘等優(yōu)點(diǎn);精心搭配顏色是產(chǎn)品美觀大方和耐用!爐膛材料全部采用進(jìn)口摩根纖維制作而成,爐膛是幾塊耐火纖維塊拼裝而成,大大避免了急冷急熱裂縫的現(xiàn)象管式電爐發(fā)熱元件選用。
 
硅鉬棒(分布在爐膛的左右)
硅鉬棒電熱元件是一種以硅化鉬為基礎(chǔ)的電阻發(fā)熱元件。燒結(jié)的硅化鉬制品在氧化氣氛下加熱到高溫,其表面生成一層致密的石英玻璃膜,它可保持制品不在氧化。因此硅鉬棒元件具有*的高溫抗氧化性。在氧化氣氛下高使用溫度為1750℃。硅鉬棒元件的電阻不隨使用時(shí)間的長短而改變(電阻隨溫度的升高而增大),也就是不老化,因此新舊元件可以混合使用。硅鉬棒元件的機(jī)械性制和其他陶瓷制品一樣,在常溫下屬于脆性材料容易斷裂,但使用得當(dāng)和安裝合理是可以避免的。
 
PECVD管式爐硅碳棒(分布在爐膛的左右或者四周)
碳棒是選用綠化碳化硅材料為主要原料,經(jīng)輕加工制呸、高溫硅化、在結(jié)晶而成的棒狀的非金屬高溫電熱元件。該元件與金屬電熱元件相比,具有使用溫度高、抗氧化、耐腐蝕、壽命長、變形微、安裝維修方便等優(yōu)點(diǎn)。硅碳棒具有較大的比電阻,在空氣中加熱,發(fā)熱部表面溫度可以達(dá)到1450℃;從室溫到800℃為負(fù)值,800℃以上為正值特性曲線。硅碳棒具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性,酸對(duì)其無作用,但堿和堿土金屬氧化物在一定的溫度條件下對(duì)其有侵蝕作用。
 
高溫下,水蒸氣、氫氣、鹵素、硫等對(duì)其也有氧化和侵蝕作用。為爐溫和棒承受負(fù)荷均勻,安裝前必須進(jìn)行配阻,保持電阻一致±10%;電爐長期使用過程中,個(gè)別棒由于其它原因而損壞需要更換時(shí),要根據(jù)當(dāng)時(shí)阻值的增長情況,選補(bǔ)阻值適宜的棒,不可任取新棒更換。若棒損壞的較多或阻值增長過大,無法達(dá)到達(dá)到所需的爐溫時(shí)更換成新棒。換下來的棒重新測(cè)量其電阻值。

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